在做SEMI認(rèn)證時(shí)，面臨各別的半半導(dǎo)體擺設(shè)，咱們往往遇到百般 “板滯手”，你領(lǐng)會嗎，各別的板滯手運(yùn)用于各別的擺設(shè)，在規(guī)范中的設(shè)置及訴求也是各別的。

按照SEMI S2規(guī)范，自眾生料搬運(yùn)擺設(shè)，也即是很多人常說的“板滯手”，分為以次三種：

? 襯底板滯手substrate handlers;

? 產(chǎn)業(yè)呆板人及產(chǎn)業(yè)呆板人體例industrial robots and industrial robot systems;

? 無人搬運(yùn)車unmanned transport vehicles (UTVs)。

1. 襯底板滯手普遍一次搬運(yùn)簡單晶片，以其小負(fù)載本領(lǐng)而與產(chǎn)業(yè)呆板人辨別飛來。罕見的有真空板滯手，EFEM傳片板滯手等。在認(rèn)證時(shí)該當(dāng)按照妨害領(lǐng)會的截止，導(dǎo)出職員的安定養(yǎng)護(hù)。妨害領(lǐng)會該當(dāng)囊括其尺寸、擺設(shè)含量、速率及操縱空間等。

2. 產(chǎn)業(yè)呆板人及產(chǎn)業(yè)呆板人體例 — 可機(jī)動(dòng)遏制、反復(fù)編制程序的多功效板滯手，可在三個(gè)或更多軸上編制程序，而且不妨在產(chǎn)業(yè)機(jī)動(dòng)化運(yùn)用中恒定在位或挪動(dòng)。與Substrate handler的分辨是，不妨一次搬運(yùn)多片晶圓，或片盒等。產(chǎn)業(yè)呆板人及產(chǎn)業(yè)呆板人體例該當(dāng)適合符合的國度/國際規(guī)范(比方，ANSI/RIA R15.06, ISO 10218-1，CEN EN 775)。即使由于呆板人在半半導(dǎo)體擺設(shè)上的運(yùn)用與那些規(guī)范之間有分別，可按照其危害獨(dú)立評價(jià)那些分別。

3. 無人搬運(yùn)車 (UTVs)

UTVs分兩種基礎(chǔ)型：

(1) 大地輸送型(囊括軌跡式及無軌式) UTV，機(jī)動(dòng)在地層上穿越到指定場所上貨及卸貨。

(2) 空間行走型 UTV，不附麗在地層(比方在藻井下方的空間)機(jī)動(dòng)穿越至指定場所上貨及卸貨。

UTVs參考SEMI S17規(guī)范舉行認(rèn)證。在評價(jià)體例能否適合標(biāo)及時(shí)，應(yīng)試量 UTV 體例供給商供給的整套擺設(shè)，囊括未徑直安裝在擺設(shè)主體上的局部，比方軌跡、遏制盤、電源測電筆，以及其余操縱無人搬運(yùn)車所需的百般辦法。

欣項(xiàng)高科技指示，SEMI認(rèn)證并非大略的板滯嘗試及文獻(xiàn)，對準(zhǔn)各別的擺設(shè)以及元件，城市有各別的訴求，這須要工程師對擺設(shè)及規(guī)范有有年的體味本領(lǐng)做出精確的確定，專科本領(lǐng)功效品德。

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