特出氣體供給體例手段

由氣體供給負擔部分創(chuàng)造及操縱之氣體化學(xué)物資保送體例，即安排部分按照結(jié)尾用戶化學(xué)物資需要量及其物資個性，辨別創(chuàng)造其一定保送體例，得以安定的，高品德的，不阻礙的保送至消費線擺設(shè)運用，如：半半導(dǎo)體工場，太陽能工場，液晶面板工場…等

電子特出氣體的供給，取消幾種低蒸氣壓的大概沿用Bubbling或N2/Ar啟動外，基礎(chǔ)都沿用自己蒸氣壓啟動的保送辦法，幾大中心關(guān)心名目如次。

蒸氣壓/氣壓啟動形式提防進程揭發(fā)及進程傳染壓力的寧靜度安排低蒸氣壓供給體例的溫度梯度創(chuàng)造顆粒物的遏制機動吹掃體例

三大因素：

產(chǎn)業(yè)安定 + 工藝遏制 + 純度遏制

基礎(chǔ)供給框架結(jié)構(gòu)

氣房一覽

氣房表示圖

電子特出氣體按照本質(zhì)分門別類

惰性氣體：CF4，C2F6，SF6，N2O，C4F8，Ne/Kr，He，CHF3......毒性/侵蝕性氣體：NF3，Cl2，WF6，HBr，BCl3，SiH2Cl2，F(xiàn)2/Ke/Ne......可燃性氣體：SiH4，CH2F2，CO，CH4/Ar，CH3F......

氣體分門別類

氣體舉例

電子特出氣體按照蒸氣壓分門別類

低蒸氣壓氣體：BCl3，ClF3，WF6，C5F8，SiH2Cl2，DEZ，TMA......該類氣體以液態(tài)情勢積聚在鋼瓶中，在室溫下飽和蒸氣壓均小于10psig，若保送彈道過長則簡單在彈道里面產(chǎn)生冷凝液態(tài)。在彈道安排局部需在保證蒸氣壓的同聲需產(chǎn)生溫度梯度，經(jīng)過加熱套或冷卻套的辦法。另，加熱或冷卻的安裝需樹立安定及工藝連鎖，制止溫渡過高或過低。

高蒸氣壓氣體：除低蒸氣壓氣體除外的其余氣體

氣體間兼容性表

特出氣體供給體例需樹立安定連鎖體例

火災(zāi)偵測器地動儀氣房負壓遏制消防水體例氣體偵測體例過流量遏制體例（可選）氣體偵測器樹立場所

擺設(shè)風(fēng)管氣柜風(fēng)管VMB風(fēng)管氣體供給/運用端情況點氣體積聚柜

低蒸氣壓供給體例表示圖

高蒸氣壓供給體例表示圖

高純氣體管路安排因素

氣體管路分為單套管和雙套管：助燃性， 劇毒性及 三氟化氯（ClF3）氣體需運用雙套管，其余氣體可采用單套管特呼吸道路須每間隙確定隔絕剪貼標簽，證明氣體品種，流向等消息特呼吸道路體例除焊接外的任何接口、接洽需在柜體里面并排氣偵測特呼吸道路資料的采用需按照氣體個性及純度訴求，墊片的局部同樣需商量資料兼容性無微塵顆粒物無揭發(fā)無死角空間，最小靈驗表面積杰出的抗侵蝕個性完備兩層安定安排規(guī)則杰出的外表精細度遏制符合的管路鈍化處置五項嘗試的靈驗性：保壓，氦檢，水，氧，微粒子

特出氣體氣瓶柜樹立手段

排風(fēng)安裝，負壓遏制機動遏制并監(jiān)察和控制機動吹掃

特出氣體氣瓶柜基礎(chǔ)框架結(jié)構(gòu)

1支N2/He吹掃氣瓶2支工藝氣氣瓶，散布online和standby

特出氣體氣瓶柜分區(qū)處置

按照氣體個性分屋子鞏固處置一定的氣房需設(shè)置為防止爆炸區(qū)

罕見氣體氣瓶接洽

JISCGAUHIS（DISS）GB等

氣體偵測體例樹立

1TLV高報告警方-黃色2TLV高高報告警方-赤色連鎖封閉體例或體例報告警方

要害元件表示圖

氣柜P&ID表示圖

BGDS

GC

惰性體例

低蒸氣壓體例

高蒸氣壓體例

侵蝕性體例

特出氣體氣柜安排安定

氣體揭發(fā)偵測機動閥門連鎖電氣控制箱內(nèi)Z-PurgeUV/IR火苗偵測重要關(guān)斷按鈕EMO柜門機動封閉柜體里面隔板過流量遏制連鎖消防噴淋蛭石CCTV等

BGDS

VMB

工藝吹掃過程表示圖

氣柜隸屬辦法訴求

氣瓶操縱小貼士

鋼瓶在安置前、確認氣體稱呼及充填鋼瓶、空鋼瓶。鋼瓶在安排前、必需開始確認閥門居于封閉狀況。操縱職員必需過程特意培養(yǎng)和訓(xùn)練，并莊重按照操縱回程；領(lǐng)會鋼瓶閥門的結(jié)構(gòu)。一致不許松動安定閥門。在鋼瓶安排后、對鋼瓶的貫穿處舉行完全吹掃。鋼瓶的安排需運用精確的動量矩、并莊重舉行氣密考查鋼瓶安置前需確認Pigtail接口密封皮純潔而且無傷害；對于鋼瓶墊片，需一次性運用，并精確安置；

調(diào)換鋼瓶的進程中，要更加提防：

所有鋼瓶調(diào)換進程中，必需佩帶相映的PPE用功具刀翻開鋼瓶塑封和扎帶嚴禁在鋼瓶移入氣柜前翻開悶頭采用符合的墊片鋼瓶接口和pigtail貫穿進程中要保護通順，不行用蠻力，免得對那些元件形成傷害鋼瓶聯(lián)接結(jié)束之前盡大概不要涉及鋼瓶閥門手輪鋼瓶調(diào)換結(jié)束后，翻開鋼瓶閥門時，舉措也該當慢慢 (保護此時佩帶精確的PPE)

氣瓶揭發(fā)處置倡導(dǎo)

【揭發(fā)微量時】

從鋼瓶閥門處爆發(fā)揭發(fā)時，應(yīng)在優(yōu)勢場所關(guān)緊鋼瓶閥。（需要時戴上防備東西）若不許遏止揭發(fā)時，應(yīng)戴上防備東西、套上出口防止灰塵蓋后，變化到安定的場合。鋼瓶閥口除外局部爆發(fā)揭發(fā)時，戴上防備東西后，變化到安定的場合?！颈l(fā)洪量揭發(fā)時】

趕快變化到優(yōu)勢口處流亡。并連呼“氣體揭發(fā)”使范圍職員撤退。戴上防備用品后，遵守控制人的引導(dǎo)舉行處置。在爆發(fā)揭發(fā)的范圍拉出分隔區(qū)、嚴禁職員加入。割斷揭發(fā)場所鄰近的一切火源。若災(zāi)禍大概向范圍分散時、應(yīng)趕快報告調(diào)理、公安、消防局等關(guān)系單元

部分防備勞動防護用品PPE的運用

附屬類小部件：

氣瓶閥構(gòu)造表示圖

硅烷RFO比較表

調(diào)壓閥構(gòu)造圖

APTECH

單向閥構(gòu)造圖

APTECH

VG構(gòu)造圖

APTECH

EFS構(gòu)造圖

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閥門構(gòu)造圖

APTECH

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