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前兩期咱們談了談對于華夏半半導體財產(chǎn)來說最須要霸占的兩座大山硅晶圓代工和回顧體,大概上這兩大商場不妨算作IC創(chuàng)造步驟,那么本期咱們就簡本地談一談半半導體消費的下一個步驟,即IC封測。
IC封測是IC封裝和IC嘗試的簡稱,對于IDM廠商來說IC封測重要由自家的工場實行,對于無晶圓廠商來說IC封測就須要??频膹S商控制實行。常常IC封裝大廠同聲舉行封裝和嘗試兩項交易,但也有僅從事封裝交易的IC封裝廠和僅從事嘗試交易的IC嘗試廠。其余,也有專攻于某一細分運用商場的IC封測廠。
所謂IC封裝,即是指把硅片上的通路管腳用導線接引到外部接洽處,再不于其余器件貫穿。封裝情勢是指安置半半導體集成通路芯片用的外殼,它不只起著安置、恒定、密封、養(yǎng)護芯片及鞏固電熱本能等上面的效率,并且還經(jīng)過芯片上的接點用導線貫穿到封裝外殼的引腳上,那些引腳又經(jīng)過印刷通路板上的保障與其余器件相貫穿,以提防氣氛中的雜質對芯片通路的侵蝕而形成電氣本能低沉。IC封裝的工藝過程如圖表1所示,但跟著本領的興盛,少許進步的封裝工藝過程與保守的封裝工藝過程比擬有很大的辨別,在反面會提到。
圖表 1 IC封裝過程圖
材料根源:百度文庫、順利偉德入股
底下咱們仍舊摘抄《半導場合面觀》這該書來引見一下IC封測中的少許重要步驟。
1)晶圓切割?!半妼W查看結束的晶圓,須要在磨砂歲序中切掉確定的厚薄,接著是在切割進程中將晶圓切割成一個一個的芯片。晶圓上縱橫陳設的芯片之間的隔絕設成間隙為100um的劃線,由于很簡單切割,就把硅晶圓的外表表露了出來。在磨砂后的晶圓上,貼上紫外光映照下個性會爆發(fā)變革的膠帶,再把完全用輪狀的架子恒定。接下來被稱作切丁,也即是外表貼有金剛石顆粒的極薄的圓形刀片,在純水震動的同聲沿劃線縱橫切割。切割后,用特出的東西拉伸成UV帶的話,一個一個的芯片就會被膠帶拖著挪動,在芯片之間就會展示小裂縫。接著在膠帶背后映照紫外光的話,因為光化學反饋膠帶的黏著性貶低,芯片很簡單從膠帶上零落下來。在顯微鏡下對芯片舉行一個一個的表面檢驗和測定,把有缺點、傷害、傳染的芯片取消,選定來的芯片不妨送給下一個歲序。”
2)晶圓粘結?!敖?jīng)過切割歲序從晶圓中切割出來,并被測定于優(yōu)等品的芯片,要一個一個地被收留在封裝資料里,以是要先把封裝芯片用的基礎的引線框架貫穿起來。以由樹脂制成的塑模封裝為例,在塑模封裝里,把稱作引線框架的非金屬框恒定在包裝機上,用稱作繃簧夾頭的真空夾頭把在UV膠帶上陳設著的優(yōu)質芯片吸起來,貼在引線框架的島部,在鍍銀的島部放上銀膏,在這邊把芯片輕輕地壓合在一道。其余在封裝進程中,也有被稱作共晶合金法的本領,這種被用在須要高真實性的集成通路中,運用金和硅的反饋貼上芯片的本領中,有鍍金的島部溫度升高插上芯片的徑直固著法和把夾著金膠帶的芯片貼在鍍金的島部的金片沖壓法。封裝進程中,除去精確確定芯片在島上的場所并牢牢地舉行物理恒定外,博得通路板和芯片的歐姆交戰(zhàn),而且在交戰(zhàn)局部的熱阻縮小上面也有訴求。”
3)引線焊接。“為贏得IC芯片和外部的電學性交戰(zhàn),把芯片范圍擺設的約100um拐彎焊盤(外部引出的用水極)和引線框架的引線電極(內引線),用金細線一根一根地貫穿起來,此歲序稱為非金屬絲焊接。焊接中,按照所運用引線框架品種的各別,向焊線機輸出引線電極的擺設等消息。在引線框架上恒定的IC芯片的場所和歪斜度,大概是焊盤和引線電極的對立場所等,用CCD拍照機光學檢查出來,圖像處置后對焊接操縱做纖細安排。一個芯片的十足焊接中斷后,焊接時機把導向框架移到下一個芯片地方的場所,連接地舉行焊接操縱。焊線操縱是如許的:一是把從毛細血管中垂下來的金細線的前段用高壓尖端放電爆發(fā)的火苗加熱,做出熔化的小金球;二是把小金球移到焊盤的場所,輕輕地摁壓舉行熱壓焊接,此時也會使引線框架的溫度飛騰。有被稱作NTC辦法的加熱到350℃的做法,也有和低聲波并用的200~200℃低溫化的UNTC辦法;三是遏制毛細血管的軌跡,再不遏制鐵絲環(huán)的形勢,一面把焊絲挪動引線電極的場所,熱和低聲波并用舉行焊接;四是用焊絲扳手在割斷焊絲的同聲抬起毛細血管,從焊點扯掉焊絲?!?/p>
4)塑封?!昂附訉嵭械男酒瑢碇浦古c外部的交戰(zhàn),要將其封入封裝或密封資料中。IC密封也有多種本領,大概分為氣體密封和非氣體密封。氣體密封法(真空密封)是為了提防微量氣體或液體侵占的實足密封型,又被細分為結正當和溶接法。另一種為非氣體密封法(非真空密封),和緩體密封法比擬密封性略微差少許,更加是在運用胎具的變化胎具上面,既廉價消費性又好,獲得一致運用。密封的進程開始是把焊接中斷的引線框架恒定在胎具成形機里,再把預熱過的樹脂片加入胎具內,因提高溫度而流化的樹脂用棒狀鞲鞴加壓使其流入胎具,鑄模就成形了。樹脂熱強硬之前加溫固化,從胎具中掏出成形中斷的引線框架,取消過剩的樹脂大概雜品,整治胎具。在變化胎具里,因為包著芯片的是樹脂,耐蝕性耐熱性再有散熱性都有題目。為此,為了保證真實性,芯片的安排或是養(yǎng)護等都須要下工夫,胎具樹脂資料以及引線框架的形勢材料質量等都要最配合。樹脂密封最大的題目即是因為潮氣侵占而惹起的百般不良局面?!?/p>
5)鍍金?!癐C外部的引線,在隨后的進程中會被加工成形形色色的形勢,須要對委曲局部普及強度,其余對IC載板舉行本質安裝時,為了普及可焊性并提防生銹還會對本來施外部處置。外部處置,普遍即是經(jīng)過Sn和Pb共晶焊錫來實行引線外部涂層。這上面,有在熔融的焊錫槽中滲透引線框架的本領和運用電解鍍金的本領。電解鍍金的本領是在包括錫和鉛的鍍金液中,把在陽極的錫板和在負極的引線框架貫穿起來,并在兩級之間回電。如許,陽極一側的錫金會有剩余電子,形成離子浸透在溶液中。錫和鉛的陽離子向負極一側挪動,黏附在引線框架上,在外表會有錫析出。鍍金錫中斷后,在蓋章工藝中會把公司名、產(chǎn)物名、創(chuàng)造批號等刻印在封裝的外表。”
6)查看和分門別類。IC在入庫之前,要依照每個產(chǎn)物的規(guī)格舉行形形色色的查看和分門別類。和形狀關系的查看囊括缺點、缺點、長度、形勢、鍍金的狀況、能否生存異物黏附、蓋章的明顯度等。回電個性的查看,運用里面裝有電腦的被稱作袖珍萬用表的機動檢驗和測定機,舉行多階段的測定,參照IC的規(guī)格來確定能否及格,進而把優(yōu)質產(chǎn)物抉擇出來。其余在DRAM和MPU等查看歲序里,也不妨舉行速率分門別類,按照每個IC的速率分紅各別級別。經(jīng)過查看和分門別類,舉行與IC性能和個性關系的試驗,在升高溫度并強加電壓的狀況下舉行個性變化量的測定“焚燒測定”BT和判決等。如許的查看,比較著產(chǎn)物規(guī)格在取消確定差額前提下,舉行電源交流電、輸入電壓、輸入交流電等關系直流電個性及性能、電門速率等處事個性的一定和判決。IC的動靜處事個性查看,是在把電源電壓等關系個性的左右差額取消的狀況下測定的。IC的物理測定是對一切大概的處事狀況,對與相映的輸出輸入旗號100%的搭配舉行包括,基礎上是不大概的。
接下來看一下寰球和華夏大大陸區(qū)的IC封測財產(chǎn)情景,按照Gartner的數(shù)據(jù),2017年寰球IC封測商場范圍約532.6億美元,同期相比延長7%安排,這是2016年年終猜測的數(shù)據(jù)。在寰球完全IC封測商場中,??频姆忸A測產(chǎn)量值占到52%安排,其他為IDM廠的封預測產(chǎn)量值。將封裝和嘗試劃分來看,2017年寰球IC封裝產(chǎn)值在420.98億美元,嘗試為111.62億美元。
圖表 2寰球封裝及嘗試商場范圍猜測(單元:百萬美元)
材料根源:Gartner,2016/12、順利偉德入股
從商場比賽構造上看,寰球IC封測財產(chǎn)的會合水平要小于晶圓代工和回顧體財產(chǎn),按照TRI的數(shù)據(jù),2017年寰球前十大IC封測廠商吞噬了80%的份額,個中龍頭年老華夏臺灣的大明光吞噬了20%安排的份額,若商量采購硅品這一成分,大明光的商場份額將到達30%。在寰球前十的廠商業(yè)中學,也展示了三家華夏大大陸區(qū)的廠商,辨別是長電通富和華天,三家公司核計吞噬了20%的份額。比擬于IC安排和IC創(chuàng)造,華夏陸地本地盤區(qū)的IC封測引導廠商長電高科技與寰球第一的IC封測廠商大明光的交易收入差異最小,2017年長電高科技的交易收入估計為大明光的60%,而在IC安排范圍,海思的2017年估計的交易收入約為高通的27%,在IC創(chuàng)造范圍,中芯國際2017年估計的交易收入約為臺積電的10%。
圖表 3 2017年寰球IC封測財產(chǎn)比賽構造
材料根源:TRI、順利偉德入股
華夏陸地上面,按照CSIA的數(shù)據(jù),2016年我國IC封預測產(chǎn)量值到達1,564.3億元,同期相比延長13%,這一數(shù)字明顯高于寰球。2017年前三季度,我國IC封預測產(chǎn)量值到達1,278.6億元,同期相比延長16.5%。連年來,我國民代表大會大陸區(qū)外鄉(xiāng)的IC封測廠商超過格外趕快,不管是在高端的本領貯存和產(chǎn)出上,仍舊在海內并購財產(chǎn)上,都博得了不錯的功效。更加是在大基金的助力下,長電高科技、通富微電實行了對海內優(yōu)質IC封測財產(chǎn)的采購,補強了高端IC封測的本領勢力。近期,數(shù)字錢幣商場的火爆也利好了我國陸地外鄉(xiāng)的IC封測廠商,按照集微網(wǎng)的消息,“2017年陸地封測業(yè)從比特陸地一家公司中就能獲益30億元安排,沿用Flip-Chip工藝封裝,個中通富微電和華天每天的量在1kk安排,長電稍多,每天的封丈量合計高達5kk?;迳厦?,比特陸地重要的基板供給商為珠海越亞,每月在150kk安排”。
圖表 4 我國民代表大會大陸區(qū)IC封預測產(chǎn)量值(單元:億元)
材料根源:CSIA、順利偉德入股
高端IC封測產(chǎn)物上面,按照公然消息,我國民代表大會大陸區(qū)中高端IC封測產(chǎn)物約占32%,個中引導廠商這一數(shù)字最高不妨到達60%。按照Yole Development的數(shù)據(jù),華夏進步封裝產(chǎn)量自2015年發(fā)端以超30%的增長速度延長,估計2019年產(chǎn)量將到達3600萬片12英尺晶圓,同期相比增長速度將到達38%,其 Flip-chip、WLCSP是重要延長能源。
圖表 5華夏進步封裝商場預估(單元:百萬片,12寸)
材料根源:Yole Development、順利偉德入股
IC封測這個行業(yè)的接洽有一個特性,即是須要接洽各別IC封測本領的興盛和運用,這邊有很大的難度,一是須要領會各類IC封測本領的觀念,有些封測本領本來是某一種封測本領的蔓延和矯正,有些封測本領在歲序中也須要用到另一種封測本領的工藝,同聲那些封測本領也并非對抗,而弄懂那些封測本領對于非??迫耸縼碚f是很艱巨的;二是各別IC封測本領的本質運用范疇,簡直到某類芯片有幾何是用了高端的封測本領,這一數(shù)據(jù)很難查到;三是各別IC封測本領的產(chǎn)值情景、產(chǎn)量情景、各引導廠商的生產(chǎn)能力情景等數(shù)據(jù)也很難查到。綜上,咱們試圖從搜集上的公然材料收集了各別IC封測本領的關系觀念和商場情景。
圖表 6重要封裝情勢演進
材料根源:TRI、順利偉德入股
“最早IC封測本領被稱為DIP,即雙列直插式引腳封裝,這項本領在上世紀70歲月特殊時髦,是第一代封測本領的代辦性本領,絕大局部中型小型范圍集成通路均沿用這種封裝情勢,其引腳數(shù)普遍不勝過100個,它的引腳從兩頭引出,須要插入到專用的DIP芯片插座上。厥后派生的DIP封裝構造情勢有:多層陶瓷雙列直插式DIP,單層陶瓷雙列直插式DIP,引線框架式DIP。”
“加入80歲月后,展示了新一代的封測本領,具備代辦性的本領即是芯片載體封裝,重要情勢囊括無線陶瓷芯片載體LCCC、塑料四邊引出扁平封裝PQFP、小尺寸封裝SOP、塑料有線芯片載體PLCC等。個中PQFP的封裝情勢最為一致,其芯片引腳之間隔絕很小,引腳很細,很多大范圍或超年集成通路都沿用這種封裝情勢,引腳數(shù)目普遍都在100個之上。此種封裝情勢的芯片必需沿用SMT本領將芯片與通路板焊接起來,沿用SMT本領安置的芯片普遍在通路板外表上有安排好的相映引腳的焊點,將芯片各腳瞄準相映的焊點,即可實行與主板的焊接。PLCC封裝也是罕見的封裝情勢,形狀呈正方形,32腳封裝,邊際都有管腳,形狀尺寸比DIP封裝小得多,具備形狀尺寸小、真實性高的便宜。跟著半半導體財產(chǎn)的趕快興盛,半半導體封測時須要的引腳數(shù)連接減少,即使再中斷在周邊陳設引線的老形式上,縱然把引線間距再減少,也不許處置引腳增加的攪擾,所以提出了面陣陳設的新觀念,展示了陣列式封裝本領,如PGA本領。PGA芯片封裝情勢在芯片的表里有多個方陣形的插針,每個方陣形插針沿芯片的邊際間隙確定隔絕陳設,按照引腳數(shù)手段幾何,以芯片為重心在邊際圍成2-5圈引腳。”
在第三代半半導體封測本領中,最具代辦性的本領即是BGA?!癇GA封裝即焊球陣列封裝,它是在封裝基板的底部創(chuàng)造陣列焊球動作通路的I/O端與PCB互聯(lián)。與保守的腳型貼裝器件比擬,BGA封裝器件具備如次特性:1)I/O數(shù)較多。BGA封裝器件的I/O數(shù)重要由封裝體的尺寸和焊球節(jié)距確定,因為BGA封裝的焊料球是以陣列情勢排布在封裝基片底下,所以可及地面普及器件的I/O數(shù),減少封裝體尺寸,儉樸組建的占位空間。常常,在引線數(shù)溝通的情景下,封裝體尺寸可減小30%之上。2)普及了貼裝制品率,潛伏地貶低了本錢。3)BGA的陣列焊球與基板的交戰(zhàn)面大、短,利于于散熱。4)BGA陣列焊球的引腳很短,減少了旗號的傳輸路途,減小了引線電子感應、電阻。5)鮮明地革新了I/O端的共面性,極地面減小了組建進程中因共面性差而惹起的耗費。6)BGA實用于MCM封裝,不妨實行MCM的高密度、高本能?!?/p>
“在BGA本領發(fā)端實行的同聲,其余一種從BGA興盛來的CSP封裝本領發(fā)端出露眉目,為芯片級封裝的道理。CSP封裝不妨讓芯部分積與封裝表面積之比勝過1:1.14,仍舊特殊逼近于1:1的理念情景。一致空間下對立于BGA封裝,CSP封裝不妨將保存含量普及三倍?!?其余再有一種封測本領叫FC本領,這是實行晶圓級封裝的一種本領。FC的特性是將芯片的有源面朝向基板,各別于點對點的引線鍵合,經(jīng)過芯片上的焊凸塊供給與基板之間的互連。倒裝構造承諾所有芯片外表用來動作互連構造,大大減少了I/O數(shù)目,與引線鍵合以及載帶機動焊比擬,不妨供給更高的互連密度、更高的頻次、更好的噪聲遏制、更小的器件形狀,所以在BGA本領中,F(xiàn)C BGA代替保守的BGA本領漸漸變成合流。
各別于引線鍵合,進步封裝多為基板類封裝,經(jīng)過凸塊與基板或是PCB貫穿,所以 Bumping(凸塊)是FC以及更高階工藝的要害普通。Bumping運用地膜、黃光、鍍金等重要制造過程在基板的貫穿點上長出鉛錫凸塊、金凸塊或銅凸塊,減少芯片與基板之間貫穿的錫球直徑,縮小凸塊間距,減少密度是Bumping本領興盛的重要趨向。從凸塊資料上去看,金凸塊本錢較高,銅柱凸塊本領因其出色的電本能和真實性,漸漸代替了錫鉛凸塊,運用在高階封裝中如運用處置器、微處置器、基頻芯片、畫圖芯片等。按照Prismark Partners的匯報,2013年所消費的凸塊晶圓到達1,400 萬片,個中僅有6%運用銅/錫銀掩蓋。到2018年,消費的凸塊晶圓總額將生長近一倍,到達2,700萬片,個中35%將運用銅/錫銀蓋板,這以至還不囊括會進一步減少百分比,用來TSV運用的微型凸塊。其目的為運用于囊括動作安裝、外存及高階論理芯片。暫時寰球完備12寸晶圓錫銀銅凸塊生產(chǎn)能力的廠商約有7家,臺積電生產(chǎn)能力位居第一,大明光、硅品、艾克爾、南茂、長電和耐派斯都完備12 寸晶圓凸塊量產(chǎn)本領。
圖表 7 倒裝芯片凸點生產(chǎn)能力猜測(單元:wspy)
材料根源:MEMS
IC封測本領加入第四代后,展示了WLP、SIP、POP、WSP等本領。個中,WLP本領是指在晶圓前道歲序實行后,徑直對晶圓舉行封裝,再切割辨別成簡單芯片,對立于保守封裝將晶圓切割成單個芯片后再舉行封裝,WLP本領在封裝本錢上面具備鮮明的上風。將WLP與CSP相貫串,就展示了WLCSP本領,即晶圓級芯片尺寸封裝。WLCSP不只能鮮明減少IC尺寸,適合挪動電子產(chǎn)物對高密度體積空間的需要,同聲,因為芯片不妨以最短的通路路途,經(jīng)過錫球徑直與通路板貫穿,還能大幅度提高消息傳輸速率,靈驗貶低雜訊干預幾率。與保守封裝本領QFP和BGA封裝產(chǎn)物比擬,晶圓級芯片尺寸封裝的產(chǎn)物比QFP產(chǎn)物小75%、分量輕85%,比BGA尺寸小50%、分量輕40%。
圖表 8 從保守封裝至倒裝封裝及晶圓級封裝構造變革表示圖
材料根源:TRI、順利偉德入股
暫時晶圓級芯片尺寸封裝(WLCSP)重要沿用晶圓凸點封裝(Wafer Bumping)和Shellcase系列WLCSP兩種封裝本領。晶圓凸點封裝是一種本領難度對立較低的WLCSP封裝情勢,它的重要特性是在芯片反面徑直引出通路及焊墊,而Shellcase系列WLCSP不只不妨在芯片反面徑直引出通路及焊墊,也不妨將芯片的通路引至芯片的背后后再創(chuàng)造焊墊,Shellcase系列WLCSP封裝囊括了Wafer Bumping的本領重心,其本領難度要高于晶圓凸點封裝,且工藝過程也較晶圓凸點封裝攙雜。
固然晶圓凸點封裝自己也是一種進步的封裝情勢,但Shellcase系列WLCSP上風比擬鮮明,其運用范圍更廣且更適合封裝本領的興盛趨向:開始,Shellcase系列WLCSP在印象傳感器芯片封裝范圍具備自然上風。因為印象傳感芯片的效率主假如光學成像,其功效的實行須要吸收接納、反應物體光彩,這必然訴求芯片反面忽視覺妨礙物,即封裝的焊墊不許放在芯片反面,要不會遏制光彩成像。Shellcase系列WLCSP在芯片的正面與反面兩面黏貼玻璃基板(或其余絕緣資料),將芯片線路、焊墊引至背后,玻璃基板具備通明個性,所以,Shellcase系列WLCSP在印象傳感器封裝上具備絕佳的上風,而晶圓凸點封裝因為在芯片反面引出焊墊,沒轍運用至印象傳感器等范圍;其次,Shellcase系列WLCSP本領更適合三維(3D)封裝興盛趨向。硅通孔(TSV)的三維封裝本領被技術界覺得是勝過摩爾定理的重要處置計劃,是將來半半導體封裝本領興盛的興盛趨向,而Shellcase系列WLCSP本領因為不妨在芯片正背后引出通路及焊墊,兩者工藝格外一致,控制Shellcase系列WLCSP本領能趕快加入硅通孔本領范圍。
晶圓級CSP封裝本領制造過程重要如次:在芯片尚未切割前即舉行,整片芯片經(jīng)過地膜,黃光及蝕刻等晶圓制造過程實行封裝,結果再切割成單顆的IC,此種制造過程可視為前段半半導體晶圓廠制造過程的蔓延,其基礎辦法如次列所述:
a.以黏著劑將一片高透光性的薄玻璃黏貼于芯片的反面以養(yǎng)護晶圓外表不受傳染;b.研磨黏有玻璃的芯片背后,使芯片的厚薄變薄,借此貶低之后的封裝厚薄,并以蝕刻的辦法將芯片切割道背后的硅資料去除,使一顆顆獨力IC爆發(fā)于黏著的玻璃養(yǎng)護片上;c.將玻璃養(yǎng)護層黏貼于芯片背后,以到達實足包覆IC 的養(yǎng)護效率;d.在玻璃外表籌備創(chuàng)造焊接點的地方場所覆上一層有機資料動作絕緣緩沖層; e.在個其余IC之間切割露出IC焊墊的截面再濺鍍上非金屬層,再運用三度空間之暴光、顯影及蝕刻等制造過程實行所需的非金屬線路,使線路與IC焊墊的截面貫串通;f.在非金屬線路上掩蓋上一層養(yǎng)護層;g.BGA型式的組件則以印刷的辦法將錫膏印在整片芯片上焊接點的地方場所,在過程回焊Reflow產(chǎn)生錫球;h.切割芯片變成單顆封裝實行的IC。
圖表 9 WLCSP-Shell3D工藝過程
材料根源:精材高科技、順利偉德入股
SIP也是一種第四代的封裝本領,“按照ITRS的設置,SiP為將多個具備各別功效的有源電子元件與可選無源器件,以及諸如MEMS大概光學器件等其余器件優(yōu)先組建到一道,實行確定功效的單個規(guī)范封裝件,產(chǎn)生一個體例大概子體例。從框架結構上去講,SiP是將多種功效芯片,囊括處置器、保存器等功效芯片集成在一個封裝內,進而實行一個基礎完備的功效。與SOC(片上體例)對立應。各別的是體例級封裝是沿用各別芯片舉行并排或疊加的封裝辦法,而SOC則是莫大集成的芯片產(chǎn)物?!?/p>
圖表 10 SIP框架結構
材料根源:電子工程網(wǎng)、順利偉德入股
相較普遍封裝本領,SiP完備的上風如次:封裝功效普及并縮小封裝體積、減少產(chǎn)物掛牌時程、可將各別制造過程的芯片舉行封裝到達異質調整、貶低體例本錢及普及電本能、可運用于多種范圍,如光電、通訊、傳感器及MEMS等范圍、較無專利本錢及侵權危害。其余由SiP蔓延的3D堆疊式封裝本領,經(jīng)過在筆直方進取減少可安置晶圓的層數(shù)來進一步普及SiP的調整本領,不妨說動作異質調整的標桿,SiP在勝過摩爾定理上面表演著頭等腳色。
圖表 11 SiP的基天職類
材料根源:TRI、順利偉德入股
2016年寰球SiP產(chǎn)值約為64.94億美元,較2015年景長17.40%安排;2017年在智能型大哥大固然生長煩惱,然而以AppleWatch為代辦的等其余電子產(chǎn)物也目標用SIP封裝本領來減少產(chǎn)物的體積,以是有商場人士估計寰球SIP增長速度在2017年為20.36%,2017寰球SiP產(chǎn)值估量到達78.16億美元。
圖表 12 2013—2017SIP商場范圍(單元:百萬美元)
材料根源:電子工程網(wǎng)、順利偉德入股
跟著臺積電InFo制造過程本領日益老練,加上海內、外芯片供給商及封測業(yè)者爭相加入研制,SiP模塊處置計劃已從早期大略的2D封裝辦法,趕快發(fā)達到2.5D,將來興盛目標是3D封裝。因為芯片可筆直堆疊,大大貶低交流電耗費及熱量爆發(fā),且能滿意體積減少趨向。3D封裝形式的SiP是經(jīng)過封裝勝過摩爾定理最要害的本領本領。
再有一種第四代的封測本領叫POP,這種本領沿用兩個或兩個之上的 BGA堆疊而成,將高密度的數(shù)字或攙和旗號論理器件集成 POP封裝的底部,這種雙層構造儉樸了基板表面積,不妨應付論理器件和保存器件之間的高速互聯(lián)。
結果是第六代的封測本領,如FOWLP、eWLB、InFO、TSV等。
FOWLP是WLP本領的一種,WLP本領運用重散布層(RDL)不妨徑直將芯片與PCB做貫穿,如許就省去了保守封裝DA段的工藝,不只省去了DA工藝的本錢,還貶低了整顆封裝顆粒的尺寸與厚薄,同聲也繞過DA工藝對良率形成的諸多感化。開始WLP沿用的是Fan-In本領(扇入型晶圓級封裝),接洽組織Yole Developpement的接洽匯報指出,因為結尾運用對芯片功效調整的需要連接減少,SiP封裝將越來越遭到歡送,從而恫嚇Fan-In封裝將來的興盛遠景。該組織仍舊將2015~2021年Fan-In封裝出貨量的復合年增率預估由9%下修到6%。Yole進一步領會,暫時Fan-In封裝仍是最低本錢、最符合用來實行封裝微型化的本領采用,所以廣泛獲得聰慧型大哥大、枯燥電腦等動作安裝芯片沿用。截止暫時為止,約九成的Fan-In芯片都是運用在大哥大和枯燥安裝上。但是,跟著結尾運用創(chuàng)造商更喜愛在簡單封裝內調整更多功效的元件,將來有很多本來獨力封裝的元件城市改用SiP封裝,F(xiàn)an-In封裝的興盛遠景必然會遭到感化。個中,電源處置、發(fā)射電波頻率元件改用SiP封裝的趨向將最為鮮明。
在模仿/攙和旗號/數(shù)字范圍,重要的晶圓級運用需要是BT+WiFi+FM拉攏芯片、RF收發(fā)器、音頻/視頻解碼器、直流電/交談變換器、ESD/EMI IPD。在MEMS器件范圍,重要運用需要來自電子羅盤、RF濾波器、加速率計和陀螺儀。其余,CMOS圖像傳感器也有激烈的運用需要。
圖表 13 Fan-In封裝商場預估(單元:百萬顆)
材料根源:Yole Developpemen、順利偉德入股
縱然生存勝過十年,然而FIWLP仍舊在連接演進,并招引新的運用。暫時商場數(shù)據(jù)表白FIWLP創(chuàng)造生產(chǎn)能力是充溢的,而且越來越多的需要在200mm和300mm晶圓。其余,物聯(lián)網(wǎng)將為FIWLP帶來更普遍的運用。
從本領看法來看,連接的革新為了拓展FIWLP本領。暫時的量產(chǎn)凸塊間距大多為0.4mm,而0.35mm也已籌備停當。暫時各廠商正在芯片尺寸和I/O數(shù)目上做全力,量產(chǎn)的最大I/O數(shù)目正朝著200+興盛。最新公布表露仍舊最大可達800個I/O。芯片尺寸的“甘甜點”范疇可達7mm x 7mm,而8mm x 8mm和9mm x 9mm也已籌備停當。
圖表 14 FIWLP封裝器件出貨量猜測(按照各別器件分門別類 單元:百萬顆)
材料根源:Yole Developpement、順利偉德入股
表面上,保守的WLP多沿用Fan-in型態(tài),運用于低接腳數(shù)的IC。但隨同IC訊號輸入接腳數(shù)量減少,對錫球間距的訴求趨于莊重,加上印刷通路板構裝對于IC封裝后尺寸以及訊號輸入接腳場所的安排需要,所以變革派生出分散型與Fan-in加Fan-out等各式新式WLP封裝型態(tài),其制造過程以至跳脫保守WLP封裝觀念,如英飛凌于2006年SEMICON Europe即提出新式態(tài)的Fan-out WLP封裝本領。
FOWLP即是派生出的Fan-out WLP(扇出型晶圓級封裝),在一個環(huán)氧行復合物(EMC)中嵌入每個裸片時,每個裸片間的間隙有一個特殊的I/O貫穿點,如許I/O數(shù)會更高而且的對硅運用率也有所普及,使互連密度最大化,同聲實行高帶寬數(shù)據(jù)傳輸。FOWLP基帶處置器、發(fā)射電波頻率收發(fā)器和電源處置IC等上面的運用實行了最新一代的超薄可穿著和挪動無線擺設。由于連接貫穿和儉樸的空間,F(xiàn)OWLP有后勁實用于更高本能的擺設,囊括外存和運用處置器,F(xiàn)OWLP也不妨運用到新商場,囊括公共汽車和調理運用以至更多。FOWLP并被猜測會變成下一代緊湊型、高本能電子擺設的普通。按照Yole猜測將來四年FOWLP商場范圍增長速度較快,估計到2020年商場范圍為24.88億美元。
相映地,F(xiàn)OWLP商場也囊括兩個局部,一是單芯片扇出封裝,運用于向來Fan-in沒轍運用的通信芯片、電源處置IC等大量運用商場;二是高密度扇出封裝,F(xiàn)oWLP可動作多芯片、IPD或無源集成的SiP處置計劃,運用于AP以及保存芯片。如Fan-out本領的重要激動者臺積電,暫時其InFO本領在16nm FinFET上不妨實行RF與Wi-Fi、AP與BB、GPU與搜集芯片三種拉攏。將來高密度扇出封裝這一商場設想空間更大。 FOWLP封裝并不是一個嶄新的本領,第一代產(chǎn)物為eWLB,不只能貶低本錢與厚薄,并且能實行高調整性,但由于良率題目運用受限,商場生長較慢。直到臺積電InFO本領和制造過程漸漸老練,并勝利在蘋果最新產(chǎn)物中贏得運用,F(xiàn)OWLP一躍變成智高手機追捧的熱門和封裝廠商構造的中心。FOWLP商場后勁大但危害也高,最大的危害在乎本錢。其余智高手機能否能跟進 FOWLP,最大的變量即是本錢。 FOWLP不妨集成來自各別本領節(jié)點的多個裸片以及少許無源器件,完備低本錢、高本能、低功耗等便宜,有更好的電氣屬性和散熱本能。 FOWLP的本錢低于2.5D,工藝難度低于3D,將在3D IC本領老練往日獲得較為普遍的運用。更加是大概量的iPhone對該項本領的引入,將趕快催化FOWLP走向老練,高端大哥大在用戶領會上面的差變化比賽將使三星等高端品牌趕快跟進,同聲低本錢的特性將使該項本領在中低端智能機商場大受追捧。深刻來看,以FOWLP為進步代辦的WLP本領將在物聯(lián)網(wǎng)等結尾范圍具有光彩的將來。市調組織Yole Developpement估計2016-2021年FOWLP迎來興盛的黃金五年,2021年商場范圍將從2016年的4.8億美元飛騰到25億美元,年復合生長率達39%。
圖表 15寰球FPWLP產(chǎn)值(單元:億美元)
材料根源:Yole Developpement、順利偉德入股
跟著高階IC芯片商場需要的連接夸大,3D與2.5D的IC封裝商場仍舊加入成長久。跟據(jù)DIGITIMES預估,2020年寰球3D與2.5D的IC封裝商場范圍將達1,705億美元,核計2016~2020年的年復合生長率為38.30%。Research and Markets 表白,相較于3D晶圓級芯片封裝或2.5D等其它封裝本領,3D 硅穿孔(Through-silicon via; TSV)本領且有最高的互連密度及更大的空間功效等便宜,所以預估3D TSV商場年復合生長率會高于其它封裝本領。
TSV是一項高密度封裝本領,正在漸漸代替暫時工藝比擬老練的引線鍵合本領。TSV本領經(jīng)過銅、鎢、多晶硅等導熱物資的彌補,實行硅通孔的筆直電氣互連。TSV封裝具備電氣互連性更好、帶寬更寬、互連密度更高、功耗更低、尺寸更小、品質更輕等便宜。 3D芯片堆疊本領的實行可分兩步走,第一階段是先沿用借助硅中央互連層的2.5D本領,功效芯片經(jīng)過微型錫球與硅中央層貫穿,再經(jīng)過一層TSV襯底貫穿到3D芯片封裝用襯底上;而第二階段則會將TSV構造徑直植入芯片之中,使堆疊的芯片不妨實行筆直互聯(lián)。暫時,2.5D表演著向3D過度的腳色,本錢和工藝是規(guī)范3D量產(chǎn)普遍的最大困難。
圖表 16 TSV創(chuàng)造工藝過程中運用的本領
材料根源:Yole Developpement、順利偉德入股
TSV的本領辦法如次:a.以黏著劑將一片高透光性的薄玻璃黏貼于芯片的反面,以養(yǎng)護晶圓外表不受傳染;b.研磨黏有玻璃的芯片背后,使芯片的厚薄變薄,借此貶低之后的封裝厚??;c.以蝕刻的辦法將芯片背后的硅資料去除,動作RDL 線路貫穿之孔洞;d.在芯片外表覆上一層二氧化硅動作涂層;e.在芯片外表濺鍍上非金屬層,再運用三度空間之暴光、顯影及蝕刻等制造過程實行所需的非金屬線路,使線路與IC 焊墊的截面貫串通;f.在非金屬線路上掩蓋上一層養(yǎng)護層;g.BGA 型式的組件則以印刷的辦法將錫膏印在整片芯片上焊接點的地方場所,再過程回焊產(chǎn)生錫球。結果切割芯片變成單顆封裝實行的IC。
圖表 17 TSV封測本領過程
材料根源:精材高科技、順利偉德入股
3D WLCSP是暫時能高效調整小尺寸光電組件如CMOS印象傳感器等的首要選擇處置計劃。它也是暫時最老練的3D TSV平臺,將來幾十年內,3DIC都將依附著更低的本錢、更小的體積,以及激動芯片功效進化等上風,變成將來半半導體財產(chǎn)的新典型。據(jù)Yole Developpement預估,將來五年內,3D倉庫DRAM和3D論理SoC運用將變成激動3DIC本領贏得洪量沿用的最重要啟動力,接下來依序是CMOS印象傳感器、功率組件和MEMS等。
圖表 18 2016~2022年按范圍細分的TSV運用晶圓猜測 (單元:百萬片12寸晶圓)
材料根源:Yole Developpement、順利偉德入股
2016年,受BSI CIS運用激動,暫時3D TSV運用的擺設商場營業(yè)收入勝過了1.7億美元。同聲,至2022年,3D TSV運用的資料商場將從暫時的1.09億美元延長至2.32億美元頂峰。3D TSV運用的資料商場將重要遭到下一代3D倉庫保存器的激動,它將變得越發(fā)攙雜,所以須要特殊的進步資料,如光阻資料和彌補資料,以贏得更好的本能。
3D TSV運用的擺設商場估計將由于BSI CIS攙和倉庫的引入而在2019年展示下降,攙和倉庫無需任何TSV互聯(lián),所以不須要專用來TSV創(chuàng)造的擺設入股。即使將來3D攙和鍵合被覺得是3D倉庫BSI的一種代替本領,那它將會感化并引導所有TSV擺設商場下滑。然而,跟著3D倉庫保存器的興盛,以及TSV在螺紋和情況光等傳感器范圍的浸透率普及,估計3D TSV擺設商場到2020年會發(fā)端蘇醒。
圖表 19 3D TSV運用的擺設和資料商場猜測(單元:百萬美元)
材料根源:Yole Developpement、順利偉德入股
從財產(chǎn)興盛觀點看,進步的FOWLP、eWLB等本領常常在IC創(chuàng)造的后端實行,所以IC代工場發(fā)端鯨吞IC封測廠的商場,一個典范的案例即是寰球IC代工年老臺積電以集成扇出型封裝InFo的上風搶在三星前拿下iPhone7 A10十足訂單。但另一上面,SIP本領的興盛又使得IC封測廠商向卑劣搶劫結尾組建廠的份額。
圖表 20 WLCSP和SiP封裝在創(chuàng)造財產(chǎn)鏈間的穿插拓展
材料根源:TRI、順利偉德入股
底下咱們講一向下探底針卡。探針卡(Probe Card)是一片充滿探針的通路板,為嘗試機臺和待測晶圓間嘗試領會的接口,每一種IC起碼需一片對立應之探針卡,運用于晶圓針測階段,為IC產(chǎn)物的晶圓嘗試,屬半半導體財產(chǎn)中十分纖細的一環(huán)。
IC于晶圓上創(chuàng)造實行,在IC尚未封裝前,對裸晶以探針做功效嘗試,亦即以探針卡上頭的探針與待測芯上的焊墊或凸塊交戰(zhàn),輸出及輸入芯片訊號以舉行電性量測,再共同周邊嘗試儀器與軟硬件遏制到達機動化量測,檢查創(chuàng)造實行的晶圓良率;在晶圓針測進程傍邊,會挑選出不良品(缺點或妨礙的晶粒),并將不良品做標志,晶圓切割后,良品將舉行后續(xù)的封裝制造過程,不良品則制止連接下階段的制造過程。
晶圓針測系屬半導機制程傍邊的后段制造過程,晶圓針測可制止不良品加入后段封裝制造過程;因為封裝的本錢在完全IC消費上所占比率較高,故制止不良品加入后段封裝制造過程,可貶低構裝本錢的濫用。其余電子產(chǎn)物越來越向輕浮、高功效及低功耗興盛,高階封裝本領本錢漸漸普及的趨向下,能縮小構裝濫用的晶圓針測仍舊變成IC財產(chǎn)中要害且要害的一環(huán)。
國際??剖姓{組織VLSI Research Inc.的觀察匯報中指出,2016年寰球半半導體探針卡產(chǎn)值約1,370百萬美元,產(chǎn)值與客歲保持平衡;跟著將來幾年半半導體商場被莫大看好、生長可期,預估2017年寰球半半導體探針卡產(chǎn)值年景長率將高達為11%、產(chǎn)值到達1,500百萬美元之上。寰球半半導體探針卡商場長久表露逐年連接生長趨向,預估2016年到2021年總產(chǎn)量值將以年復合生長率(CAGR)6.2%寧靜生長,至2021年到達1,852百萬美元。
探針卡的興盛與IC財產(chǎn)興盛有同步聯(lián)系,如立體倉庫芯片、芯片級封裝、覆晶封裝、多芯片拉攏、KGD、銅柱凸塊封裝、畫圖芯片、高頻嘗試需要等,均需仰仗各別的探針嘗試本領。歸納IC的興盛趨向與晶圓探針卡的聯(lián)系,歸結出以次十項興盛趨向:a.針跡距離纖細化: ITRS于 Metrology Roadmap 2012 Update中揭穿半半導體完全本領的演進,將連接朝通路間隙微弱化進步。共同將來IC制造過程微縮及芯部分積連接減少,晶圓探針卡將朝向更纖細化的針跡距離興盛,以適合IC制造過程本領的訴求。b.防訊號干預:體例單芯片已變成IC興盛合流,將來IC制造過程、功效將越發(fā)攙雜,囊括論理、外存、模仿等百般功效區(qū)塊將會合于同一顆芯片內,對立地使晶圓針測本領艱巨度愈來愈高,也使得訊號的防干預性備受挑撥。C. 實用各別半半導體材料質量與本領:對于半半導體新制造過程本領的革新與開拓,將派生對應出各別典型的芯片焊墊及焊墊材料質量。若待測芯片的交戰(zhàn)焊墊材料質量各別,所需的探針卡本領亦將有所分別。d.高速探針卡:連年來因動作通信、搜集運用需要上揚,使高速通信芯片需要大幅生長,以至啟動IC也朝高速訊號傳播興盛。高速通信芯片中最要害的安排商量乃訊號的傳播,以是訊號傳播路途的阻抗配合、及訊號完備性都極端要害;怎樣舉行探針卡的線路安排與創(chuàng)造精細度,以保證訊號傳播的完備性,亦為探針卡的開拓要害。e. 多芯片平行嘗試:因應12寸晶圓廠趕快生長,IC嘗試廠商為了儉樸嘗試功夫并提高本錢效率,偏好一次交戰(zhàn)就能到達多芯片嘗試的探針卡。要到達此手段,安排芯片同測數(shù)要越高,但其DUT與DUT間的普遍性也就越難到達,再加上同測表面積越大,其平面度也越難遏制,必需有更好的探針卡安排創(chuàng)造本領。f.Low k芯片用探針卡:當半導機制程演進至90nm時,其介電層必需運用低介電值的Low k資料以普及組件功效,故低介電系數(shù)制造過程本領的產(chǎn)物已成合流。然普遍 Low k材料質量多屬于易脆多孔性資料,在晶圓針測時簡單形成芯片的妨害,故怎樣遏制探針卡的針壓范疇就特殊要害。g.少清針:探針卡的針尖交戰(zhàn)品質不佳時,將沒轍到達杰出嘗試功效,必需加以清針本領連接嘗試;但清針時,針尖會被磨損消耗,探針壽命會所以減少。所以開拓少清針的探針卡已成產(chǎn)物興盛中心。h.上下溫嘗試:因為IC產(chǎn)物須實用于百般各別情況中,故晶圓嘗試時,必需對準上下溫舉行嘗試,以適合產(chǎn)物規(guī)格訴求。所以,接洽溫度效力形成的探針卡變異局面,亦為安排開拓的重心。i:高功率芯片嘗試:高功率芯片所需嘗試的交流電,對立于普遍芯片要高出很多,此時探針卡探針的交流電耐受本領就顯得特殊要害。故高耐交流電探針亦為安排開拓重心。g:低交戰(zhàn)電阻:為適合手持動作安裝縮小耗電的需要,其操縱電壓對立應會貶低,而探針卡在嘗試芯片時的交戰(zhàn)電阻就不許太高。所以低交戰(zhàn)電阻探針卡,亦為安排開拓的重心。
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