高科技晚報北京3月26日電（新聞記者馬愛平）鎢、鉭、鈮、錸和鉬……難熔非金屬在亞原子能、宇航航天、電子消息和醫(yī)術(shù)調(diào)理等波及國度安定和國計民生的高高科技范圍具備極為要害的用處。然而，近10年來，寰球鎢產(chǎn)業(yè)所耗費的大局部鎢資源來自華夏，形成我國這類優(yōu)質(zhì)策略資源的蘊藏量大幅低沉。

26日，新聞記者從北京理工科大學(xué)得悉，十年磨一劍，由北京理工科大學(xué)、華夏船舶重工團體公司第七一八接洽所、華夏亞原子能科學(xué)接洽院和昆明理工科大學(xué)構(gòu)成的名目共青團和少先隊，在鑒于二次資源運用的高端難熔非金屬產(chǎn)物研制及運用博得宏大沖破。

“經(jīng)過運用普通接洽與財產(chǎn)化，名目組買通了從接收廢物，到電子級WF6氣體、超高純度鎢零元件等產(chǎn)物的全鏈條財產(chǎn)化本領(lǐng)，沖破了WF6高效氟化制取及純化，高純度鎢靶材、鎢加熱體、異型鎢坩堝的常壓化學(xué)氣相堆積創(chuàng)造，鑒于膻氣運用的高純度超細(xì)鎢粉等離子體化學(xué)法治備，副產(chǎn)品HF的F2/NF3和H2電解制取及其在WF6的制取和恢復(fù)中的運用等要害本領(lǐng)?！痹撁拷M控制人北京理工科大學(xué)熏陶譚成文說。

歷盡滄桑約10年全力，名目組研制出高純WF6、超高純鎢靶材、離子注入機用高純鎢元件、高本能鎢加熱體、高純異型鎢坩堝等系列高端產(chǎn)物。

譚成文說，個中，高純WF6純度達99.999%，滿意了半半導(dǎo)體行業(yè)對于特種氣體的高純度訴求，在英特爾、東芝、臺積電、中芯國際等國表里著名半半導(dǎo)體企業(yè)贏得普遍運用，海內(nèi)商場占領(lǐng)率80%，國際商場占領(lǐng)率近25%，僅3年功夫即實行簡單產(chǎn)物年產(chǎn)值過億元，成本率大于20%。跟著本領(lǐng)連接矯正，產(chǎn)物在關(guān)系企業(yè)的用量大幅普及，沖破海外把持。超高純鎢靶材、離子注入機用高純鎢元件、鎢加熱體、異型鎢坩堝純度達99.999999%。

根源：高科技晚報

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