真空技術(shù)

Tecnotion是真空直線電機(jī)領(lǐng)域的專家。具有多年設(shè)計(jì)和制造真空直線動(dòng)子線圈和定子磁軌的經(jīng)驗(yàn)。Tecnotion不僅可以提供滿足最苛刻真空環(huán)境需求的直線電機(jī)，也可以提供經(jīng)濟(jì)型的真空電機(jī)產(chǎn)品。

越來(lái)越多的高科技應(yīng)用需要真空解決方案來(lái)降低不需要的化學(xué)反應(yīng)，或者反應(yīng)過(guò)程中對(duì)環(huán)境及周圍機(jī)器設(shè)備的污染。真空應(yīng)用的范圍，如平臺(tái)和龍門的運(yùn)動(dòng)控制，檢測(cè)，切割，封裝，光刻, 薄膜沉積，濺鍍及電子束。運(yùn)動(dòng)是真空環(huán)境中一個(gè)主要的挑戰(zhàn)。耐用性，可靠性，多功能性和放氣都是真空應(yīng)用中重要的因素，任何一個(gè)因素出現(xiàn)問(wèn)題都意味著設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間的停機(jī)。擁有的成本在初始投資時(shí)就應(yīng)該被考慮到。

真空中運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的潛在維護(hù)成本很高。真空直線電機(jī)內(nèi)沒(méi)有摩擦運(yùn)動(dòng)的零件，使得它可以做到免維護(hù)。此外，Tecnotion真空直線電機(jī)可以做為一個(gè)整體放在真空中,節(jié)省了一個(gè)進(jìn)料器。

運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的高放氣量會(huì)影響生產(chǎn)過(guò)程。Tecnotion的真空無(wú)鐵芯直線電機(jī)的動(dòng)子線圈和定子磁軌經(jīng)過(guò)特殊的設(shè)計(jì)，可以應(yīng)用在最低10^-8 mbar的高真空中。

特點(diǎn)設(shè)計(jì)：真空無(wú)鐵芯直線電機(jī)線圈采用了獨(dú)特的金屬密封外殼，它可以阻止線圈釋放的氣體進(jìn)入真空環(huán)境中并使線圈可以耐高真空。盡管有金屬外殼，線圈的質(zhì)量仍然很輕可以滿足高動(dòng)態(tài)應(yīng)用需求。

性能：線圈動(dòng)子和磁軌定子完全真空兼容；最小真空氣壓低至10^-8 mbar；總放氣量典型值10^-5 mbar*l/s; 苯系物氣體CxHx排放量典型值 10^-8mbar*l/s

接頭和傳感器：線圈內(nèi)置了溫度傳感器和熱敏電阻可以一直監(jiān)控線圈溫度和過(guò)熱保護(hù)。傳感器和三相線圈均使用真空兼容的線纜連接。他們是唯一需要跟外部連接的部件。

清潔度：所有Tecnotion的真空電機(jī)產(chǎn)品都在我們荷蘭的無(wú)塵室中生產(chǎn)。裝運(yùn)前，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行清潔處理，以減小最初的放氣；然后將產(chǎn)品進(jìn)行無(wú)塵包裝，以防止在裝運(yùn)和安裝的過(guò)程中受到任何污染。

發(fā)熱：熱管理是真空中最主要的挑戰(zhàn)之一。因此線圈已經(jīng)被設(shè)計(jì)成低熱阻，使得熱量能快速傳導(dǎo)離開(kāi)線圈；與標(biāo)準(zhǔn)的直線電機(jī)相同，真空直線電機(jī)的效率也很高。這意味著線圈的溫度更低，所以允許有更高的連續(xù)推力。

UXXV 系列 連續(xù)推力666N 峰值推力4020N

UXXV是真空直線電機(jī)系列中最強(qiáng)的。UXXV系列最適合用于需要超高精度和最大推力輸出的重載應(yīng)用。它的高效率和高電機(jī)常數(shù)使得產(chǎn)生高推力的同時(shí)溫升非常小。

ULV 系列 連續(xù)推力150N 峰值推力720N

ULV系列線圈是真空直線電機(jī)系列中的中號(hào)線圈。ULV系列普遍用于需要高峰值推力或低發(fā)熱的應(yīng)用場(chǎng)合。

UMV 系列 連續(xù)推力80N 峰值推力400N

UMV系列是真空直線電機(jī)系列中最小號(hào)線圈。這個(gè)系列非常適合位置控制，適合那些如龍門，或高動(dòng)態(tài)，輕量化且需要極高精度的應(yīng)用。

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