每經(jīng)新聞記者：朱成祥 每經(jīng)編纂：董興生

5月14日，微導(dǎo)納米表露了首輪問詢函恢復(fù)匯報。微導(dǎo)納米已不是第一次闖關(guān)科創(chuàng)板， 2020年6月，公司科創(chuàng)板IPO請求就曾被上海證券交易所受權(quán)，然而后又于2020年12月底止考查。彼時，系微導(dǎo)納米積極撤回掛牌請求。

2022年3月，微導(dǎo)納米再度闖關(guān)科創(chuàng)板。在首輪問詢中，上海證券交易所訴求公司就科創(chuàng)屬性等諸多題目作出恢復(fù)。

微導(dǎo)納米專營ALD擺設(shè)，重要卑劣存戶為光伏干電池廠商。暫時，光伏行業(yè)正在體驗一場N型干電池的變化海潮，簡直目標(biāo)囊括TOPCon道路、HJT異質(zhì)結(jié)道路以及IBC道路。對于將來光伏行業(yè)道路的采用能否會對公司功績帶來感化等題目，《每天財經(jīng)消息》新聞記者于5月17日致電微導(dǎo)納米董秘接待室，然而電話未能接通。

微導(dǎo)納米產(chǎn)物以ALD為主微導(dǎo)納米產(chǎn)物重要用來光伏財產(chǎn)鏈的中流步驟，為太陽能干電池片廠商供給鍍膜擺設(shè)，用來在干電池片反面或背后鍍Al2O3和SiNX，是光伏干電池片消費步驟的要害工藝擺設(shè)。

微導(dǎo)納米以亞原子層堆積（ALD）本領(lǐng)為中心，重要從事前進微、納米級地膜堆積擺設(shè)的研制、消費和出賣，向卑劣存戶供給進步地膜堆積擺設(shè)、配系產(chǎn)物及效勞。

自2017年此后，PERC干電池漸漸變成合流太陽能干電池片本領(lǐng)道路。而實行PERC干電池的量產(chǎn)，背鈍化擺設(shè)是個中的要害擺設(shè)。PECVD和ALD恰是兩種最重要的背鈍化本領(lǐng)。

盡管是ALD仍舊PECVD，都屬于地膜堆積工藝。而地膜堆積擺設(shè)常常用來基底上堆積半導(dǎo)體、非導(dǎo)體大概半半導(dǎo)體等資料膜層，使之完備確定的特出本能，普遍運用于光伏、半半導(dǎo)體等范圍的消費創(chuàng)造步驟。

依照工藝道理各別，地膜堆積擺設(shè)可分為物理氣相堆積（PVD）、化學(xué)氣相堆積（CVD）和亞原子層堆積（ALD）擺設(shè)。

據(jù)微導(dǎo)納米募股書，在光伏創(chuàng)造范圍，PVD擺設(shè)可用來HJT光伏干電池通明電極；CVD擺設(shè)可用來PERC干電池背后鈍化層、PERC干電池減反層，TOPCon干電池交戰(zhàn)鈍化層、減反層，HJT干電池交戰(zhàn)鈍化層；ALD擺設(shè)可用來PERC干電池背后鈍化層，TOPCon干電池隧穿層、交戰(zhàn)鈍化層、減反層。

暫時，光伏干電池重要有兩大興盛目標(biāo)，辨別為TOPCon干電池和HJT干電池，盡管哪種目標(biāo)變成合流，均有CVD擺設(shè)的蠻橫之地。而ALD擺設(shè)可用來TOPCon干電池，但募股書并未說起可用來HJT干電池。

當(dāng)下合流光伏擺設(shè)廠商業(yè)中學(xué)，捷佳偉創(chuàng)、朔方華創(chuàng)重要供給PECVD擺設(shè)，據(jù)微導(dǎo)納米首輪問詢恢復(fù)匯報，2020年，兩家公司光伏PECVD擺設(shè)交易收入辨別為21.58億元、3億元~5億元。而微導(dǎo)納米2020年營業(yè)收入3.13億元，均為光伏ALD交易收入。

將來本領(lǐng)道路之爭：擺設(shè)側(cè)重TOPCon按照華夏光伏行業(yè)協(xié)會《2020-2021年華夏光伏財產(chǎn)年度匯報》，PERC財產(chǎn)化消費常用的Al2O3鍍膜擺設(shè)生產(chǎn)能力目標(biāo)中，ALD擺設(shè)優(yōu)于PECVD擺設(shè)。捷佳偉創(chuàng)、Centrotherm本領(lǐng)典型為PECVD，生產(chǎn)能力辨別為5700片/鐘點、6000片/鐘點；而理念晶延、微導(dǎo)納米本領(lǐng)典型為ALD，生產(chǎn)能力辨別為7200片/鐘點、10000片/鐘點。

圖片根源：公布截圖

不妨看出，在PERC消費中，ALD擺設(shè)本領(lǐng)目標(biāo)更高。

然而，假如將來本領(lǐng)道路倒向HJT干電池，能否會對微導(dǎo)納米爆發(fā)報復(fù)？在問詢函中，上海證券交易所科創(chuàng)板掛牌委訴求其證明，光伏范圍的商場份額占比情景與本領(lǐng)難度分別，各本領(lǐng)道路的興盛趨向及彼此變換的難度，ALD 本領(lǐng)是否運用于新式干電池本領(lǐng)道路，貫串二類本領(lǐng)（PVD、CVD和ALD）的是非勢、卑劣本領(lǐng)道路變革情景、存戶需要、擺設(shè)本錢，證明光伏范圍ALD本領(lǐng)能否生存被代替的危害。

從訂單情景看，微導(dǎo)納米2021年簽訂3份新式高效干電池產(chǎn)線宏大出賣公約，本領(lǐng)道路均屬于TOPCon，2022年2月、3月，微導(dǎo)納米又簽訂4份新式高效干電池產(chǎn)線宏大出賣公約，一份為TOPCon，2份為HBC干電池，再有一份來自珠海富山愛旭太陽能高科技有限公司的N型高效干電池。該公司為掛牌公司愛旭股子全資子公司，而愛旭股子目標(biāo)于興盛ABC干電池。

由此看來，微導(dǎo)納米博得的7份宏大出賣公約中，沒有一份與HJT干電池產(chǎn)線樹立關(guān)系。其余，微導(dǎo)納米供認，擺設(shè)廠商須要對準三種本領(lǐng)道路（PVD、CVD和ALD）的本領(lǐng)難點和運用范圍，辨別對關(guān)系工藝和產(chǎn)物舉行安排和開拓，三種本領(lǐng)道路之間沒轍徑直彼此變換。

公司表白，卑劣本領(lǐng)道路居于多種本領(lǐng)并奇跡態(tài)，固然公司的ALD本領(lǐng)已在 TOPCon干電池運用中展示出確定的上風(fēng)，但即使將來其余干電池本領(lǐng)道路的產(chǎn)線入股和經(jīng)營本錢明顯低沉，而公司的 ALD本領(lǐng)、CVD本領(lǐng)未能在該干電池本領(lǐng)道路的運用上產(chǎn)生靈驗沖破，則會對公司將來在光伏范圍的興盛形成倒霉感化。

然而，微導(dǎo)納米也覺得，暫時下一代高效干電池本領(lǐng)聚焦在N型單晶硅干電池TOPCon和HJT上。暫時HJT產(chǎn)線仍居于磨合期，因為擺設(shè)入股較高、非硅本錢難以趕快低沉的題目，固然海內(nèi)干電池片廠商生產(chǎn)能力構(gòu)造較多，但本質(zhì)落地名目偏少。TOPCon干電池在財產(chǎn)化進程中已贏得先發(fā)上風(fēng)。

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