靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，通過(guò)更換不同的靶材如鋁銅不銹鋼鈦鎳靶等，即可得到不同的膜系如超硬耐磨防腐的合金膜等目前，純度濺射靶材按照化學(xué)成分不同可分為1金屬靶材純；反射膜用純Al或Al合金靶材濺射沉積制成 記錄膜用稀土2過(guò)渡金屬靶材濺射沉積制成，如GdCo，GdFe，DyFe，GdTbFe，F(xiàn)eTbCo等保護(hù)膜則用Si靶在N2氣氛中反應(yīng)濺射沉積獲得顯示器件用靶材 透明導(dǎo)電膜包括以金屬基氧化物半導(dǎo)體基為；分類(lèi) 根據(jù)形狀可分為長(zhǎng)靶，方靶，圓靶，異型靶 根據(jù)成份可分為金屬靶材合金靶材陶瓷化合物靶材 根據(jù)應(yīng)用不同又分為半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)陶瓷靶材記錄介質(zhì)陶瓷靶材顯示陶瓷靶材超導(dǎo)陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材等 根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域分；靶材就是目標(biāo)材料用于高能激光武器中，不同功率密度不同輸出波形不同波長(zhǎng)的激光與不同的靶材相互作用時(shí)，會(huì)產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)用于物理鍍膜中的濺鍍，主要有金屬靶材和陶瓷靶材不知道你想問(wèn)的是哪個(gè)領(lǐng)域使用的 本回答由網(wǎng)。

我所知道的金屬靶材一般都是用在濺射上，濺射是一種制備薄膜的工藝我們實(shí)驗(yàn)室用的都是圓形的片子，不同的設(shè)備要求靶材尺寸不同 詳細(xì)請(qǐng)去維基百科查找濺射的相關(guān)信息；一根據(jù)不同材質(zhì)靶材可分為金屬靶材，陶瓷氧化物氮化物等靶材，合金靶材二根據(jù)不同應(yīng)用方向可分為了解1半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)靶材電極布線薄膜鋁靶材，銅靶材，金靶材，銀靶材，鈀靶材，鉑靶材，鋁硅合金靶材；真空鍍膜一種產(chǎn)生薄膜材料的技術(shù)在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來(lái)打到被鍍物體的表面上此項(xiàng)技術(shù)用于生產(chǎn)激光唱片光盤(pán)上的鋁鍍膜和由掩膜在印刷電路板上鍍金屬膜在真空中制備膜層，包括鍍制晶態(tài)的金屬。

特種金屬功能材料積極推動(dòng)高純金屬及靶材稀貴金屬儲(chǔ)能材料新型半導(dǎo)體材料新一代非晶材料精細(xì)合 金等重點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)制修訂工作，成套成體系制定并發(fā)布稀土永磁發(fā)光等功能材料標(biāo)準(zhǔn)，抓緊研制材料性能測(cè)試成分分 析；所以靶材又稱為“濺射靶材”，他的工作原理就是利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中聚集并提速，用形成的高速離子束流來(lái)轟擊靶材表面，發(fā)生動(dòng)能交換，讓靶材表面的原子沉積在基底一塊靶材由“靶坯”和“背板”組成，靶坯是由高純金屬制作而來(lái)；比如液晶顯示器，平板電腦就是用的ITO靶材，ITO靶材是金屬氧化物靶材，還有AZO靶材，等等，用于鍍膜，手機(jī)膜，電腦膜，鍍好的膜不是像玻璃那樣用的。

分類(lèi) 根據(jù)形狀可分為長(zhǎng)靶，方靶，圓靶，異型靶 根據(jù)成份可分為金屬靶材合金靶材陶瓷化合物靶材 根據(jù)應(yīng)用不同又分為半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)陶瓷靶材記錄介質(zhì)陶瓷靶材顯示陶瓷靶材超導(dǎo)陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材等 根據(jù)應(yīng)用；濺射是一個(gè)過(guò)程名詞，濺射靶材是指可通過(guò)電流束縛磁場(chǎng)方向轟擊其表面才生離子的材料 一般濺射靶材可分為金屬靶材，非金屬靶材，陶瓷靶等等；簡(jiǎn)單說(shuō)的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料有金屬類(lèi)合金類(lèi)氧化物類(lèi)等等例如蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜鋁膜等更換不同的靶材如鋁銅不銹鋼鈦鉻鎳靶等，即可得到不同的膜系如超。

如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線，例如Al Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究但是布線金屬本身易 氧化易與周?chē)沫h(huán)境發(fā)生反應(yīng)，與介質(zhì)層的粘結(jié)性差，易擴(kuò)散進(jìn)入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中，并且在較低的溫；靶坯是高速離子束流轟擊的目標(biāo)材料，屬于濺射靶材的核心 部分，在濺射鍍膜過(guò)程中，靶坯被離子撞擊后，其表面原子 被濺射飛散出來(lái)并沉積于基板上制成電子薄膜由于高純度 金屬?gòu)?qiáng)度較低，而濺射靶材需要安裝在專(zhuān)用的機(jī)臺(tái)內(nèi)。

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