慕尼黑2022年5月24日 /美通社/ -- 半導(dǎo)機(jī)制造業(yè)供給溫度管領(lǐng)會決計(jì)劃的引導(dǎo)者——ERS electronic開拓了一種溫度校準(zhǔn)擺設(shè)，該擺設(shè)不妨在晶圓本質(zhì)針測地區(qū)舉行高透徹度（低至30mK）全機(jī)動(dòng)丈量。暫時(shí)，被定名為ProbeSense?的該擺設(shè)正在請求本領(lǐng)專利。

由一個(gè)溫度傳感器構(gòu)成，安置在晶圓探針臺的探針卡處的ProbeSense?，將在晶圓針測中，按照探針XYZ軸的挪動(dòng)順序，在保護(hù)嘗試情況溝通的情景下，對晶圓外表舉行多點(diǎn)溫度丈量。ProbeSense?將與適配板一道托付，實(shí)行與行業(yè)合流探針臺兼容的同聲，滿意存戶的須要。其余，在ProbeSense?的整套裝置中還包括一個(gè)溫度丈量儀器，該儀器的透徹度仍舊預(yù)先與溫度傳感器同步兵學(xué)校準(zhǔn)在了mk范疇之內(nèi)。

為了進(jìn)一步實(shí)行丈量進(jìn)程無需人工操縱的全機(jī)動(dòng)化，探針臺中還將承載ProbeSense?配系軟硬件，以在各別溫度下，對準(zhǔn)卡盤各別場所運(yùn)轉(zhuǎn)嘗試劇本。MPI是首批在其探針臺上供給這項(xiàng)功效的探針臺創(chuàng)造商之一。

“ProbeSense?很好的滿意了行業(yè)對功效性強(qiáng)、透徹度高且容易操縱的校準(zhǔn)東西的需要，”ERS electronic公司首席本領(lǐng)官Klemens Reitinger說。 “咱們深信，仍舊被多家探針臺創(chuàng)造商沿用的該全機(jī)動(dòng)ProbeSense?將變成精度校準(zhǔn)和溫度平均性丈量范圍的準(zhǔn)則改寫者。”

“勝利將ProbeSense?集成到SENTIO?探針臺的MPI公司看到了該擺設(shè)的鮮明上風(fēng)：不只操縱上直覺便利，嘗試速率也較快。因?yàn)槠淙珯C(jī)動(dòng)的個(gè)性，還實(shí)行了晚上和周末的連接校準(zhǔn)，進(jìn)而儉樸了消費(fèi)功夫?！盨tojan Kanev, MPI公司總司理說， “ProbeSense?的推出，恰是為了更好的滿意存戶在本錢遏制、普及處事功效上面的需要?！?/p>

ERS ProbeSense?現(xiàn)已接收預(yù)定。

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